“射频溅射”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	射频溅射
释义	射频溅射 Encyclopedia 工学表面技术释 direct current sputtering射频溅射利用射频放电等离子体中的正离子轰击靶材，溅射出的靶材原子沉积在接地的基板表面从而形成薄膜的技术。 Physics 原子核物理学、粒子物理学原子核物理学 radio-frequency sputtering, RF sputtering射频溅射
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