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单词 射频微电子机械系统滤波器
释义
射频微电子机械系统滤波器

Encyclopedia

  • 工学微电子机械系统
    radio frequency micro-electromechanical system filter射频微电子机械系统滤波器
    基于微电子机械系统(micro-electromechanical system; MEMS)加工技术所制备的微尺度滤波器件。

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