“多功能集成微电子机械系统传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	多功能集成微电子机械系统传感器
释义	多功能集成微电子机械系统传感器 Encyclopedia 工学微电子机械系统释 multi-function integrated micro-electromechanical system sensor多功能集成微电子机械系统传感器利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上，实现多参数测量的传感器。
随便看	pole of a system of coordinates pole of figure pole of first order pole of orbit pole of order n pole of projection pole of rotation pole of the ecliptic pole of the equator pole of the hyperplane pole-on pole on a ball pole-on object pole-on star pole orbit pole placement pole placement self-tuning regulator Poles poles and towers of transmission line pole set pole shift Polesje pole star Polet pole type singularity

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