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单词 外延自掺杂效应
释义
外延自掺杂效应

Encyclopedia

  • 工学半导体外延生长
    self-doping effect by epitaxity外延自掺杂效应
    在材料的外延生长过程中,衬底/外延层中的杂质由于热蒸发或化学反应的副产物对衬底的腐蚀,使衬底中的杂质进入界面层,改变边界层中的掺杂成分和浓度,从而导致外延层中杂质的实际分布偏离理想状况的现象

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