“外延自掺杂效应”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	外延自掺杂效应
释义	外延自掺杂效应 Encyclopedia 工学半导体外延生长释 self-doping effect by epitaxity外延自掺杂效应在材料的外延生长过程中，衬底/外延层中的杂质由于热蒸发或化学反应的副产物对衬底的腐蚀，使衬底中的杂质进入界面层，改变边界层中的掺杂成分和浓度，从而导致外延层中杂质的实际分布偏离理想状况的现象
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