“chemical mechanical planarization”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	chemical mechanical planarization
释义	chemical mechanical planarization Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
随便看	抛光毡抛光毡子抛光盘抛光轮抛光面抛出抛射抛射体抛射体运动抛射剂抛射时标抛射物损伤抛射率抛射速度抛弃型生化反应器抛接杂耍抛掷物坠落物不明损害责任抛放式记录器抛油环抛煤机炉抛物不动点抛物二次曲面抛物二次超曲面抛物代换抛物偏微分方程

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