“chemical mechanical planarization”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	chemical mechanical planarization
释义	chemical mechanical planarization Encyclopedia 工学平坦化工艺释 chemical mechanical planarization化学机械平坦化在集成电路制造中，通过化学机械抛光方法来抛光基片表面，实现全局平坦化和形成金属互连线图形的技术。是集成电路后道工序的关键工艺。
随便看	不完满域不完满性不完满数不完满的不完满空间不完满集不完美不完美信息不完美性不定S积分不定二次型不定二次形式不定二次形式型不定代数方程不定元不定全变差不定内积不定内积空间不定分式不定变分不定向图不定向弦不定向曲面不定向的不定向配边

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