| 释义 |
chemical etching
Encyclopedia
工学磁致动器释
chemical etching化学刻蚀
纯粹利用等离子体中的活性原子团（活性自由基，不带电，不受电场的加速作用）与被刻蚀对象发生化学反应，产生挥发性的产物，被真空系统抽离反应室而实现材料去除的技术。
理学化学能释
chemical etching刻蚀
在集成电路制造过程中，经过掩模套准、曝光和显影，需要在抗蚀剂膜上复印出所需的图案，或者在抗蚀剂膜上直接描绘产生图形，然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的介质薄膜（如氧化硅、氮化硅、多晶硅）或金属薄膜（如铝及其合金）上去，制造出所需的薄层图案的工艺过程。
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