“基于掺杂的自停止技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	基于掺杂的自停止技术
释义	基于掺杂的自停止技术 Encyclopedia 工学［传感器制造］释 doping-based etch-stop technology基于掺杂的自停止技术硅基传感器在腐蚀工艺过程中，当腐蚀液腐蚀到硅中掺杂的其他元素（如硼、磷）、腐蚀到氮化层或氧化层、腐蚀到硅单晶晶向之间的各向异性层时，腐蚀速率出现明显停滞，导致腐蚀自动终止的一种工艺技术。
随便看	卡翁达，K.D. 卡耐基天文台卡耐基钢铁公司卡耶山脊卡耶环形山卡耶，R. 卡胡兹-别加国家公园卡胡朗伊国家公园卡舒布语卡艾剧院卡苏，J. 卡若区卡若拉冰川卡若遗址卡茨卡茨公式卡茨尔，J. 卡茨-波斯塔尔假说卡茨矩阵卡茨-穆迪代数卡茨穆迪代数卡茨-穆迪超代数卡茨，B. 卡茨，J. 卡莎规则

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。