“在线波像差检测”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	在线波像差检测
释义	在线波像差检测 Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 on-line aberration在线波像差检测基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。
随便看	谱线结构谱线自吸谱线自然宽度谱线自然展宽谱线自蚀谱线自转致宽谱线致宽谱线覆盖谱线覆盖因子谱线证认谱线轮廓谱线轮廓变星谱线重叠谱维数谱综合谱置信区间谱聚类谱色谱范围谱范数谱范畴谱蓝化谱表示谱表示定理谱论

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