请输入您要查询的字词:

 

单词 在线波像差检测
释义
在线波像差检测

Encyclopedia

  • 工学光刻机测量系统
    on-line aberration在线波像差检测
    基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变,波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行,可定义为在线波像差测量系统。

随便看

 

科学参考收录了854744条科技类词条,基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译,是科学学习和研究的有利工具。

 

Copyright © 2000-2023 Sciref.net All Rights Reserved
京ICP备2021023879号 更新时间:2024/7/2 20:03:56