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图形化衬底
释义
图形化衬底
Encyclopedia
理学
〔半导体材料〕
释
patterned substrate
图形化衬底
用微纳米技术制备预先设计好的衬底,用来保证外延生长薄膜的质量。
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更新时间:2024/11/6 7:50:09