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固态传感器
释义
固态传感器
Encyclopedia
工学
微纳机电系统
释
Solid state sensors
固态传感器
以半导体、电解质、铁电体等为敏感材料,在力、磁、热、气体和湿度等因素作用下引起材料的物理/化学特性变化,并通过检测这些变化来反映被测参数值的传感器。
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更新时间:2025/9/2 12:33:56