“反应离子刻蚀”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	反应离子刻蚀
释义	反应离子刻蚀 Encyclopedia 工学磁致动器释 reactive ion etching反应离子刻蚀将物理性的离子溅射刻蚀和化学性的等离子刻蚀两种方法相结合的物理/化学刻蚀技术。 Physics 凝聚态物理学结构 reactive ion etching反应离子刻蚀 Chemistry ＞分析化学＞仪器分析＞释义 reaction ion etching反应离子刻蚀
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