“反应溅射”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	反应溅射
释义	反应溅射 Encyclopedia 工学溅射工艺释 reactive sputtering反应溅射具有一定能量的氩离子（Ar+）溅射金属或合金靶表面，被溅射出的金属原子和反应气体发生化学反应，在基体上形成化合物薄膜的技术。
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