“反应溅射”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	反应溅射
释义	反应溅射 Encyclopedia 工学溅射工艺释 reactive sputtering反应溅射具有一定能量的氩离子（Ar+）溅射金属或合金靶表面，被溅射出的金属原子和反应气体发生化学反应，在基体上形成化合物薄膜的技术。
随便看	贮存试验贮库型涡流式干粉吸入器贮木场贮气式增压贮氢合金电极材料贮水泡贮水组织贮浆池贮物胞贮箱共底贮箱外绝热层材料贮箱短壳贮箱筒段贮箱箱底贮粉室贮粪池贮精囊贮草棚贮草行为贮菌器贮藏低温伤害贮藏保鲜技术贮藏小气候贮藏手段贮藏根

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