“反射式等离子体光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	反射式等离子体光刻
释义	反射式等离子体光刻 Encyclopedia 工学等离子体光刻释 reflective plasmonic lithography反射式等离子体光刻通过在光刻胶下方引入金属反射层结构，以提高表面等离子体光刻分辨力、对比度及焦深的等离子体光刻技术。
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