“原子层沉积技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	原子层沉积技术
释义	原子层沉积技术 Encyclopedia 工学【半导体工艺技术】释 atomic layer deposition原子层沉积技术将物质以单原子膜形式分层镀在基底表面的技术。
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