“单离子注入”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	单离子注入
释义	单离子注入 Encyclopedia 工学离子注入掺杂工艺释单离子注入将离子一个一个地注入精细的半导体区域中，直到达到所需掺杂数量的工艺。
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