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化学气相沉积法
释义
化学气相沉积法
Encyclopedia
理学
晶体生长技术
释
chemical vapor deposition
化学气相沉积法
一种常见的制备单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的气相生长方法。
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更新时间:2025/5/17 3:30:59