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单词 化学气相沉积工艺
释义
化学气相沉积工艺

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  • 工学【红外探测器工艺】
    chemical vapor deposition technology化学气相沉积工艺
    反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,形成薄膜或涂层的工艺技术。

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