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化学气相沉积
释义
化学气相沉积
Encyclopedia
理学
〔半导体材料〕
释
chemical vapour deposition; CVD
化学气相沉积
一种常见的制备单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的气相生长方法。
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更新时间:2025/3/15 20:42:17