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化学束外延
释义
化学束外延
Encyclopedia
工学
半导体外延生长
释
chemical beam epitaxy
化学束外延
在分子束外延(MBE)和金属有机化学气相沉积(MOCVD)基础上发展起来的超薄层材料生长技术。简称CBE。
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更新时间:2025/3/16 13:48:09