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化学机械抛光浆料
释义
化学机械抛光浆料
Encyclopedia
工学
半导体集成电路用化学品
释
chemical mechanical polishing slurry
化学机械抛光浆料
经过单面或双面化学机械抛光加工的半导体晶片。
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更新时间:2024/12/24 11:26:47