“cathode sputtering”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	cathode sputtering
释义	cathode sputtering Encyclopedia 理学阴极溅射法释 cathode sputtering阴极溅射法固体靶中的原子被高能量离子（通常来自等离子体）撞击而离开固体进入气体的物理气相沉积技术。又称溅镀。
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