“剥离工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	剥离工艺
释义	剥离工艺 Encyclopedia 工学光刻技术释 lift-off technology剥离工艺集成电路制造中，在光刻环节去除基片上光致抗蚀剂的同时，把胶膜上的薄膜材料一起剥离干净，在基片上只剩下原刻出图形薄膜材料的工艺。
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