释义 |
刻蚀 Encyclopedia
工学微纳机电系统释 etching刻蚀 通过溶液、反应离子或其他方式来剥离和去除材料的一类重要机械制造工艺。 理学化学能释 chemical etching刻蚀 在集成电路制造过程中,经过掩模套准、曝光和显影,需要在抗蚀剂膜上复印出所需的图案,或者在抗蚀剂膜上直接描绘产生图形,然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的介质薄膜(如氧化硅、氮化硅、多晶硅)或金属薄膜(如铝及其合金)上去,制造出所需的薄层图案的工艺过程。
Physics
凝聚态物理学结构 etching刻蚀
etching刻蚀†,侵蚀†,刻线
Computer
计算机硬件计算机工程制造释文etch刻蚀
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