工学 微纳机电系统 释 etching 刻蚀 通过溶液、反应离子或其他方式来剥离和去除材料的一类重要机械制造工艺。 理学 化学能 释 chemical etching 刻蚀 在集成电路制造过程中，经过掩模套准、曝光和显影，需要在抗蚀剂膜上复印出所需的图案，或者在抗蚀剂膜上直接描绘产生图形，然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的介质薄膜（如氧化硅、氮化硅、多晶硅）或金属薄膜（如铝及其合金）上去，制造出所需的薄层图案的工艺过程。
凝聚态物理学 结构 etching 刻蚀 etching 刻蚀†，侵蚀†，刻线
计算机硬件 计算机工程制造 释文 etch 刻蚀
