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全硅化物工艺
释义
全硅化物工艺
Encyclopedia
工学
CMOS工艺
释
full silicide process
全硅化物工艺
集成电路制造中,利用金属与硅发生化学反应形成硅化物,实现具有不同功函数的金属栅的工艺技术。
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更新时间:2025/3/3 5:31:34