“光栅衍射对准测量”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光栅衍射对准测量
释义	光栅衍射对准测量 Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 diffraction grating alignment measure光栅衍射对准测量在硅片面或被测物表面制作相位光栅标记，测量光束在照射至相位光栅标记后，产生多级衍射光束，通过光路结构使各级正负级次衍射光束相互发生干涉的测量方法。
随便看	multipole radiation multi-poles motor multipole source multipole term multipole transition multi-pollutant integrated control technologies multipolymer multipolynomial multipolynomial quadratic sieve multipomeron multiport multi-port memory multi-port network multi-ports motor multipotential myeloid stem cell multipotential stem cell multipotential stem cell; pluripotent stem cell multiprecision multi-pressure condenser multiprimality multi-primary white light light-emitting diode package multi-principal multipriority multi-probit regression multiprocessing

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。