“光学邻近效应修正”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光学邻近效应修正
释义	光学邻近效应修正 Encyclopedia 工学光刻技术释 optical proximity effect correction光学邻近效应修正集成电路制造中，对光学衍射效应造成图形转移的非线性和失真进行校正的技术。
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