“光刻胶”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

光刻胶

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Chemistry

单词	光刻胶
释义	光刻胶 Encyclopedia 工学半导体集成电路用化学品释 photoresist光刻胶微电子技术中微细图形加工的关键材料之一。工学光刻胶释 photoresist光刻胶由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。又称光阻胶、光致抗蚀剂。理学光刻胶释 photoresist jel光刻胶用于光刻技术的一类感光材料。由感光树脂、增感剂和溶剂等成分组成。又称光致抗蚀剂、光阻或光阻剂。 Chemistry ＞物理化学＞纳米化学＞释义 photoresist光刻胶＞高分子科学＞高分子加工＞释义 photoresist光刻胶
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