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单词 光刻烘焙工艺
释义
光刻烘焙工艺

Encyclopedia

  • 工学光刻技术
    lithography bakeing process光刻烘焙工艺
    集成电路制造中,在光刻环节去除光刻胶中的溶剂,增强光刻胶对基片表面附着力的加热工艺。

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