“光刻机照明系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻机照明系统
释义	光刻机照明系统 Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	集安市集安高句丽墓壁画集安高句丽碑集对分析法集居数反转集市集平均集异记集态的集总集总元件集总参数集总参数法集总参数电路集总参数系统集总参量集总常数电路集总法集总电容集总电感集总电路集总阻抗集成集成二极管阵集成信息服务

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。