“光刻机照明系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻机照明系统
释义	光刻机照明系统 Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	Kūkai KɑoɡonɡjiJiɑnɡren kα ,∞ K⍥be K⍥bel K⍥nig K⍥nig lemma K⍥nigs K⍥nigsberg bridge problem K⍥nigsberger K⍥nigs-Egervary theorem K⍥nigs-Schr⍥der equation K⍥nig theorem K⍥the K⍥the function space K⍥the sequence space K⍥the-Toeplitz dual k」可和级数 k」求和法 k一致基 k一致超图 K上可定义的表示 K上同调 k上有理除子 k不变量

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。