“光刻机照明系统”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻机照明系统
释义	光刻机照明系统 Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	阴极制备工艺阴极去极剂阴极发光阴极发光测量阴极发射 [阴极射线阴极射线阴极射线发光阴极射线发光材料阴极射线存储管阴极射线式存储管阴极射线示波器阴极射线示波图阴极射线管阴极射线管触发器阴极射线致发光阴极射线致色的阴极放大器阴极条室阴极条室探测器阴极板阴极-栅极电容阴极沉积法阴极溅射法阴极溶出伏安法

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。