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光刻曝光工艺
释义
光刻曝光工艺
Encyclopedia
工学
光刻技术
释
lithography exposure process
光刻曝光工艺
集成电路制造中,将掩膜上的几何图形转移到涂覆在基片表面的光刻胶中的技术。
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更新时间:2025/2/12 15:49:26