“光刻投影物镜”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻投影物镜
释义	光刻投影物镜 Encyclopedia 工学光刻投影物镜释 lithography projection objectives光刻投影物镜将集成电路芯片的掩模图形线条按照-0.25的微缩倍率经曝光投影后复制到硅片上的光刻机组件。是光刻机中最精密的核心部件。
随便看	反银心区反银心方向反链反链条件反销售税革命反锐化掩模反错构象反锥面反键反键[分子]轨道反键分子轨道反键态反键成键分裂反键轨道反闪反闪电压反问句反问题反除环反隐身反障碍反集合反集聚反雪花形分形反雷达干扰发射机

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