“光刻投影物镜”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻投影物镜
释义	光刻投影物镜 Encyclopedia 工学光刻投影物镜释 lithography projection objectives光刻投影物镜将集成电路芯片的掩模图形线条按照-0.25的微缩倍率经曝光投影后复制到硅片上的光刻机组件。是光刻机中最精密的核心部件。
随便看	肺根肺棘球蚴病肺毛细血管旁感受器肺毛细血管楔压肺毛霉菌病肺气肺气不宣肺气体交换功能肺气压伤肺气肿肺气虚肺水肺水肿肺泡肺泡出血综合征肺泡囊肺泡孔肺泡微结石症肺泡无效腔肺泡管肺泡蛋白沉积症肺泡通气量肺泡隔肺活量肺活量计

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