“光刻投影物镜”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻投影物镜
释义	光刻投影物镜 Encyclopedia 工学光刻投影物镜释 lithography projection objectives光刻投影物镜将集成电路芯片的掩模图形线条按照-0.25的微缩倍率经曝光投影后复制到硅片上的光刻机组件。是光刻机中最精密的核心部件。
随便看	局部幂零子群局部幂零根局部幂零环局部幂零环（代数）局部幂零理想局部幂零群局部平凡丛局部平凡卡局部平凡层局部平凡嵌入局部平凡性局部平凡束局部平凡空间局部平凡纤维化局部平坦子流形局部平坦嵌入局部平坦流形局部平坦点局部平坦的局部平坦结构局部平坦联络局部平坦转移局部平衡局部平衡态局部幺拟群

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