“光刻对准工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻对准工艺
释义	光刻对准工艺 Encyclopedia 工学光刻技术释 lithography alignment method光刻对准工艺集成电路制造中，借助光电检测技术实现精密机械对位的工艺。
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