“光刻去胶工艺”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻去胶工艺
释义	光刻去胶工艺 Encyclopedia 工学光刻技术释 removing resist process光刻去胶工艺集成电路制造中，在光刻环节去除基片上作为掩蔽层的光刻胶的工艺。
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