“光刻”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	光刻
释义	光刻 Physics 凝聚态物理学结构 photoetching光刻[蚀] ＞光学＞信息光学＞释义 photolithography光刻 photoengraving①光镂，光刻 ②照相制版 photoetching光刻[蚀] photolithography光刻[术]^† Chemistry ＞物理化学＞动力学＞释义 photoetching光刻
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