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亚纳米全频段光学制造
释义
亚纳米全频段光学制造
Encyclopedia
工学
光刻投影物镜
释
sub-nanometer precision full frequency optical fabrication
亚纳米全频段光学制造
物镜元件的表面形貌采用功率谱密度表征,其低频、中频与高频分量分别由面形干涉仪、白光干涉仪和原子力显微镜获得的光学制造技术。
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更新时间:2025/3/3 18:36:11