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wet anisotropic etching
释义
wet anisotropic etching
Encyclopedia
工学
磁致动器
释
wet anisotropic etching
湿法异向刻蚀
某些腐蚀剂对硅不同晶面的腐蚀具有不同的腐蚀速率,基于这种腐蚀特性,可在硅衬底上加工出各种各样的微结构的加工技术。是硅基微机械电子系统应用中一种重要的加工技术。
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更新时间:2024/10/1 12:34:58