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单词 V型槽金属-氧化物-半导体集成电路
释义
V型槽金属-氧化物-半导体集成电路

Encyclopedia

  • 工学金属-氧化物-半导体集成电路
    V-groove metal-oxide-semiconductor integrated circuitV型槽金属-氧化物-半导体集成电路
    在硅片表面上刻蚀出V型凹槽,并利用双扩散或外延生长等工艺在槽内制作的金属-氧化物-半导体(metal-oxide-semiconductor,MOS)集成电路。简称VMOS电路。

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