“ultra-precision opto-mechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	ultra-precision opto-mechanical system
释义	ultra-precision opto-mechanical system Encyclopedia 工学光刻投影物镜释 ultra-precision opto-mechanical system超精密光机系统对光学元件进行精确空间定位与高精度面形支撑，同时实现物镜集成阶段的精密装调及使用阶段功能性补偿的光刻投影物镜。
随便看	固有免疫应答固有免疫细胞固有免疫识别固有公理固有共振固有函数固有分支固有分泌固有分量固有力迫固有力迫公理固有加速度固有参考架固有参考系固有变换固有可靠性固有向量固有周期固有噪声固有增宽固有复制性固有复正交群固有多项式固有安全固有层

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。