“system design of micro electro-mechanical system，system design of MEMS”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	system design of micro electro-mechanical system，system design of MEMS
释义	system design of micro electro-mechanical system，system design of MEMS Encyclopedia 工学微机电系统分层级设计释 system design of micro electro-mechanical system，system design of MEMS微机电系统分层级设计在结构化微机电系统集成设计方法中，包含3个设计层级，即系统级、器件级和工艺级的集成设计过程。
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