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surface sacrificial layer process
释义
surface sacrificial layer process
Encyclopedia
工学
封装技术
释
surface sacrificial layer process
表面牺牲层工艺
通过牺牲层的释放形成空腔上膜或其他悬空结构,可以制造出多种活动的微结构的工艺技术。
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更新时间:2025/4/6 0:20:03