“surface sacrificial layer process”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	surface sacrificial layer process
释义	surface sacrificial layer process Encyclopedia 工学封装技术释 surface sacrificial layer process表面牺牲层工艺通过牺牲层的释放形成空腔上膜或其他悬空结构，可以制造出多种活动的微结构的工艺技术。
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