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surface micromachining
释义
surface micromachining
Encyclopedia
工学
微纳机电系统
释
surface micromachining
表面微加工
以硅片为基体,通过多层薄膜淀积和图形加工制备三维微机械结构的一种重要的微电子系统加工手段。
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更新时间:2025/3/1 13:26:54