“sputtering technique”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	sputtering technique
释义	sputtering technique Encyclopedia 工学溅射工艺释 sputtering technique溅射工艺以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够的能量而逸出靶材表面并沉积在衬底上的工艺。
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