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sputtering target
释义
sputtering target
Encyclopedia
工学
溅射靶材
释
sputtering target
溅射靶材
通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统,于适当工艺条件下在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
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更新时间:2024/7/2 16:18:00