“sputtering deposition”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	sputtering deposition
释义	sputtering deposition Encyclopedia 工学物理气相沉积释 sputtering deposition溅射镀膜利用高能量离子轰击靶材表面使靶材以原子或离子的粒子形式飞溅出来，沉积于工件表面形成薄膜的一种物理气相沉积技术。
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