“sputter etching and milling”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	sputter etching and milling
释义	sputter etching and milling Encyclopedia 工学刻蚀工艺释 sputter etching and milling溅射铣蚀在集成电路制造中，利用低气压下惰性气体辉光放电所产生的离子，经加速后入射到薄膜表面，使裸露的薄膜被溅射而除去的技术。
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