“spin on glass”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	spin on glass
释义	spin on glass Encyclopedia 工学平坦化工艺释 spin on glass; SOG旋涂玻璃集成电路制造中，在硅片表面上旋涂不同液体材料以获得局部平坦化的物质。
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