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smart cut technology
释义
smart cut technology
Encyclopedia
工学
区熔法晶体生长
释
smart cut technology
智能切割工艺
在低温条件下,综合直接键合与离子注入方法制备绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)衬底的工艺技术。
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更新时间:2025/4/26 23:03:50