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单词 silicon thermal oxidation technology
释义
silicon thermal oxidation technology

Encyclopedia

  • 工学【半导体工艺技术】
    silicon thermal oxidation technology硅热氧化工艺
    硅(Si)与含有氧化物质的气体,如水汽和氧气在高温下发生化学反应,在硅片表面生成一层致密的二氧化硅(SiO2)薄膜的过程。

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