“silicon-based micro electro-mechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	silicon-based micro electro-mechanical system
释义	silicon-based micro electro-mechanical system Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	双边聚类双边航空运输协定双边逆元双边逼近双边道德风险双边际效应双边零元双边零化子双辽市双过程水合物成核模型双返回的双连续函数双连续同构双连续对应双连续性双连续映射双连续的双连续相双连通分支双连通区域双连通图双连通域双连通性双连通的双连通空间

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。