“silicon-based micro electro-mechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	silicon-based micro electro-mechanical system
释义	silicon-based micro electro-mechanical system Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	系统详细调查系统误差系统调度检查点系统调查系统调用系统费米过程系统资源系统跟踪系统转轨系统软件系统输入装置系统输出装置系统辨识系统边界系统过程系统运筹系统运营管理系统运行记录系统运行记录文件系统进化树系统进化足迹法系统退化系统通量系统速度系统配置

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。