“silicon-based MEMS”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	silicon-based MEMS
释义	silicon-based MEMS Encyclopedia 工学微纳器件释 silicon-based micro electro-mechanical system; silicon-based MEMS硅基微机电系统在硅、绝缘体上硅（silicon-on-insulator，SOI）等基底材料的基础上，应用半导体微加工技术制造的各种微传感器、微执行器以及微系统的总称。
随便看	Pengshan Qu Peng Shao Peng Shaosheng Peng Shaoyi Peng Shi Peng Shilu Pengshui Hydropower Station Pengshui Miaozu Tujiazu Zizhixian Peng Shuzhi Peng Si Peng Song Peng Sunyi Peng Sunyu Peng Tianxi Pengtoushan Pengtoushan Culture penguin penguin diagram penguin suit Peng Xiao Peng Xiaojun Pengxi Xian Peng Xuefeng Memorial Hall of Zhenping County Peng Xuejun Pengyang Xian

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。